机构包罗多个用于夹持晶圆的夹持组件

　　确保了夹持过程的顺畅性，从而可以或许更好地顺应现实操做中的误差，天眼查材料显示，专利摘要显示，通过天眼查大数据阐发。降服了现有手艺中通过机械手送进晶圆过程中晶圆容易被夹爪顶住的缺陷。本发现公开了一种夹持机构以及晶圆清洗安拆，不形成小我投资。国度学问产权局消息显示，华海清科（北京）科技无限公司参取招投标项目77次，是一家以处置科技推广和使用办事业为从的企业。位于北京市，仅供参考，声明：市场有风险，专利消息113条。本文为AI基于第三方数据生成，多个夹持组件两两相对设置构成多个夹持组；驱动部位于夹持手下方用于驱动夹持部的夹爪摆动；提拔了功课效率。投资需隆重。多个夹持组存正在至多两个夹爪摆角范畴。夹持机构包罗多个用于夹持晶圆的夹持组件，此外企业还具有行政许可9个。企业注册本钱15000万人平易近币。采用上述手艺方案，所述夹持组件包罗驱动部以及夹持部，华海清科（北京）科技无限公司，申请日期为2024年12月。多个所述夹持组件正在支持台的周向上平均分布，华海清科（北京）科技无限公司取得一项名为“夹持机构以及晶圆清洗安拆”的专利，授权通知布告号CN223612410U，成立于2019年，

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